ILS-Photovoltaik: Bearbeitung kristalliner Solarzellen

Die ILS-Modelle sind speziell für die Photovoltaik-Industrie entwickelte Laser-Werkzeuge zur Bearbeitung von mono-kristallinen und poly-kristallinen Silizium-Solarzellen. Typische Bearbeitungsverfahren sind: die Laser-Kantenisolation, LFC-Bearbeitung (Laser Fired Contacts), das Micro-Via Bohren, SiN-Ablation und SiO2-Ablation, das Laserschneiden, die Oberflächen-Modifikation und die Laser-Oberflächen-Strukturierung.

Das System bietet die Möglichkeit, mehrere (unterschiedliche) Laserquellen zu installieren. Dies erlaubt die gleichzeitige Laserbearbeitung von zwei Wafern oder die aufeinander folgende Bearbeitung eines Wafers mit unterschiedlichen Lasertypen. Die hochwertige Ausstattung sowie die optimale Abstimmung aller Komponenten ermöglichen einen Durchsatz von bis zu 4000 Wafern pro Stunde.

Datenblatt: ILS TT – Crystalline Solar Cell Processing (PDF 163 KB)